بررسی ساختار سطحی لایه های نازک و نانو مواد اهمیت ویژه ای دارد. ساختار سطحی نانومواد است که  بسیاری از خواص آنها را تعیین می کند. در این مقاله به بررسی برخی از روشهای آنالیز سطحی می پردازیم.